I roto i nga papa kua taia, na te kino o te whakapiringa o te paninga ki runga i te pakitara kohao (kiriata rapa parakore me te pepa here), he ngawari ki te wehe i te paninga mai i te pakitara kohao ina pa ana ki te ru werawera. , e hiahia ana hoki te okiokinga mo te 20 μm, kia noho te whakakai parahi o roto me te parahi electroplated i roto i te whakapiri toru-ira pono ake, e tino whakapai ake i te ātete wia wera o te poka whakarewa. Ko Capel e whai ake nei ka korero mo nga korero mo koe. E toru nga hikoi mo te horoi i te poka i muri i te keri i te papa maataki.
Te mohio ki te horoi i roto i te poka i muri i te keri i nga ara iahiko ngawari:
I te mea karekau te polyimide i te atete ki te kawakawa kaha, karekau he pai mo nga papa taamaa ngawari me te maataki-ngawari. Ko te tikanga, ko te paru keri i runga i te papa ngohengohe me te maamaa me horoi ma te horoi horoi plasma, ka wehea kia toru nga waahanga:
(1) I muri i te waahi o te taputapu ka tae ki tetahi tohu o te korehau, ka werohia te hauota-nui-te-ma me te hauora-nui ki roto i te waahanga, ko te mahi matua ko te horoi i te taiepa poka, te whakamahana i te poari kua tuhia, me te hanga i nga mea polymer. whai i tetahi mahi, e whai hua ana Tukatuka muri. Ko te tikanga, he 80 nga nekehanga Celsius me te wa 10 meneti.
(2) CF4, O2 me Nz tauhohe ki te kapia hei hau taketake ki te whakatutuki i te kaupapa o te whakakorenga me te whakahoki hoki, te tikanga i te 85 nga nekehanga Celsius me te 35 meneti.
(3) Ka whakamahia te O2 hei hau taketake hei tango i te toenga, i te "puehu" ranei i hanga i nga waahanga tuatahi e rua o te maimoatanga; horoia te taiepa poka.
Engari he mea tika kia mohiohia i te wa e whakamahia ana te plasma ki te tango i te paru keri i roto i nga rua o nga papa-papa-maha me nga papa-a-ringa, he rereke te tere o nga momo rauemi, me te ota mai i te rahi ki te iti ko: kiriata kiriaku. , kapia epoxy, polyimide, muka karaihe me te parahi. Ko nga upoko muka karaehe me nga mowhiti parahi ka tino kitea i runga i te pakitara kohao mai i te karu.
Hei whakarite ka taea e te otinga whakakikorua parahi electroless te whakapiri atu ki te pakitara kohao, kia kore ai te paparanga parahi e whakaputa i nga waatea me nga koretake, ko te toenga o te tauhohenga plasma, ko te muka karaihe kokiri me te kiriata polyimide i runga i te pakitara kohao me tangohia. Ko te tikanga maimoatanga ko nga tikanga matū me nga tikanga miihini, he huinga ranei o nga mea e rua. Ko te tikanga matū ko te whakamakuku i te papa kua taia ki te wairewa haukinia hauwai pūkōwhai, kātahi ka whakamahi i te surfactant katote (wairewa KOH) hei whakatika i te kawenga o te pakitara poka.
Ko nga tikanga miihini ko te pupuhi kirikiri makuku me te horoi wai pehanga teitei. Ko te huinga o nga tikanga matū me nga tikanga miihini he tino painga. E whakaatu ana te ripoata metallographic e pai ana te ahua o te pakitara poka whakarewa i muri i te whakakorenga o te plasma.
Ko nga mea i runga ake nei ko nga kaupae e toru mo te horoi i roto o te poka i muri i te keri o nga papa taia-a-ringa i ata whakaritea e Capel. Kua 15 tau a Capel i aro ki te papa taiawhio ngawari, papa ngohengohe, papa maro me te huihuinga SMT mo nga tau 15, a kua kohia e ia te maha o nga matauranga hangarau i roto i te umanga poari. Te ti'aturi nei au ka awhina tenei tiritiri ki te katoa. Mena kei a koe etahi atu patai a te poari ara iahiko, tena koa patai ki ta maatau roopu hangarau ahumahi whakapaipai Capel ki te whakarato tautoko hangarau ngaio mo to kaupapa.
Wā tuku: Akuhata-21-2023
Whakamuri